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微波應用設備

RPS
MW
RF
Motor & Power Supply

RF
Module IC T.F.
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
  ASM EAGLE 10 AM-1000S-ASM   Adtec RF Match AM-1000S-ASM
ASM EAGLE 10 AX-1000II/III ,
AX-1000LFII
  Adtec RF Generator AX-1000II/III ,
AX-1000LFII
AMT CENTURA 5200 0010-09417 /
09750
  AMT RF Match P4 CVD Match
AMT Endura GATE
-ARC
0010-20524/
0010-22225
  P4/HE PVD Match
Module IC ETCH
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
CENTURA 5200 0010-09416   AMT RF Match P4 MXP Match
AMT P5000 POLY /
CENTYRA5200
0010-36162   P4 MXP+ Match
AMT DPS POLY 0010-36408   P4 DPS Match
AMT CENTURA
SUPER-E
0010-30686   HE Match
  AMT CENTURA
E-MAX
OEM-28B   ENI RF Generator OEM-28B
  PSC ULTIMA Ⅲ AT20C-1   PSC RF Match PSC Match
PSC ULTIMA Ⅲ OEM-2000   ENI RF Generator OEM-2000
TEL DRM MWD-25LD   ENI RF Match TEL ENI
MWD-25LD
TEL DRM OEM-25B   ENI RF Generator OEM-25B
Mattson ASPEN
Ⅱ ASHER
AX-1000II/III   ADtec RF Generator AX-1000II / III
Module IC ETCH/T.F.
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
  MKS ENI OEM-6 OEM-6   MKS ENI OEM
RF Generator
OEM-6
AMT DPS/P5000/
CENTURA
OEM-12A/B   OEM-12A/B
Module TFT-LCD CVD
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
AKT CVD AX-7500   ADtec RF Generator AX-7500
AX-10000   AX-10000
AX-15000   AX-15000
AX-20000   AX-20000
Module other
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
other AX-2000   ADtec RF Generator AX-2000
AX-3000(13.56MHZ)   AX-3000(13.56MHZ)
AX-5000(13.56MHZ)   AX-5000(13.56MHZ)
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