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RPS
MW
RF
Motor & Power Supply

MW
Module ETCH.
Demo Tool AMAT P/N OEM P/N Item / Project
AMAT DPS / LAM /
TEL/ ULVAC
    MKS Smart Power Astex(AX2518/
          AX2530/
          AX2560)

AMAT DPS / LAM /
TEL/ ULVAC
0196-09264 S15ITBC MKS MW Gen. Astex(AX2115)


AMAT DPS / LAM /
TEL/ ULVAC
3750-01082 FI10002/SXRHC/
FI20061/FI20194
MKS 1.5~2KW Magnetron Head
AMAT DPS / LAM /
TEL/ ULVAC
3750-01082 FI20162 MKS 3KW Magnetron Head



AMAT DPS / LAM /
TEL/ ULVAC
3750-01106 FI20045/FI20606/
FI20634/FI10001/
AX9018/AX9030/
AX3060
MKS Smart match  
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